普惠工业 岩铸真空
| 型号 | 分子泵型号 | 前级泵型号 | 腔体尺寸(L) | 抽速(L/s) | 极限真空(Pa) | 总功率(kW) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PJZ-FF40-2XZ0.5-50A | FF-40/25 | 2XZ-0.5 | 50 | 25 | ≤6×10-5 | 0.28 |
| PJZ-FF63-2XZ1-80A | FF-63/80 | 2XZ-1 | 80 | 80 | ≤6×10-5 | 0.43 |
| PJZ-F160-2XZ4-150A | F-160/500 | 2XZ-4 | 150 | 500 | ≤5×10-6 | 1.55 |
| PJZ-F160-2XZ8-200A | F-160/620 | 2XZ-8 | 200 | 620 | ≤5×10-6 | 2.6 |
| PJZ-F250-2XZ15-300A | F-250/1600 | 2XZ-15 | 300 | 1600 | ≤8×10-4 | 3.5 |
| PJZ-F400-2XZ25-500A | F-400/3600 | 2XZ-25 | 500 | 3600 | ≤5×10-6 | 5.7 |