普岩定制 扩散泵机组

扩散泵真空机组由油扩散真空泵作为主泵,搭配前级泵(双级旋片泵+罗茨泵/螺杆泵+罗茨泵等)串联使用,适合<0.1Pa的超高真空应用。

扩散泵机组
普岩

扩散泵机组

按需定制 | 稳定高效 | 智能控制
抽速范围
定制
极限真空
定制
电机功率
定制
整机重量
定制

PJZ-TK系列 扩散泵机组推荐配置

型号 主泵型号 前级泵型号 搭配腔体(L) 抽速 (L/s) 极限真空 (Pa) 总功率 (kW)
PJZ-KT150-300A TK-150 ZJP-70 + 2XZ-8B 300 1000 ≤5×10-5 3.6
PJZ-KT300-800A TK-300 ZJP-300 + 2XZ-25B 800 4000 ≤5×10-5 9.1
PJZ-KT200-500A KT-200 ZJP-150 + 2XZ-15B 500 2000 ≤5×10-5 5.5
PJZ-KT400-1000A KT-400 ZJP-1200 + 2XZ-25B 1000 7000 ≤5×10-5 18.8

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