文章摘要
普岩机械为宁波某半导体靶材企业定制两套旋片真空机组,解决单泵供压不足、多工位压力波动问题。每套机组配置PV100旋片泵与100L卧式缓冲罐,投运后双线真空稳定,自动启停省心省电。方案同样适用于锂电干燥、船舶制造等行业。
应用案例

宁波靶材工厂真空不稳?普岩旋片真空机组:智能供压,稳定省心

2026年07月02日
上海普岩机械设备有限公司

普岩机械为宁波某半导体材料企业提供两套旋片真空机组,助力靶材制造品质升级。在半导体材料制造领域,高纯金属靶材的生产对真空系统的洁净度、稳定性和连续运行能力有着严格要求。近期,上海普岩机械设备有限公司成功为宁波某半导体材料企业交付了两套定制化旋片真空机组,用于靶材烧结、真空熔炼及包装等关键工序,有效解决了客户原有设备抽速不足、压力波动大等问题。

普岩旋片真空机组应用于靶材制造工厂

项目背景:靶材制造对真空系统的高标准要求

该企业主要从事高纯金属靶材的研发与生产,产品广泛应用于半导体芯片制造、平板显示等领域。靶材的制备过程中,真空熔炼、粉末烧结、脱气处理等环节均需要持续稳定的负压环境。任何真空度波动都可能导致靶材内部出现气孔、杂质残留或致密度不达标,直接影响产品质量。

客户此前使用单台小型真空泵供气,随着产线扩能和工艺升级,原有设备已无法满足多工位同时用气的需求。客户明确表示:需要两套独立运行的旋片真空机组,分别服务不同生产区域,并具备自动控制和稳定可靠的运行能力。

普岩方案:普岩PV100真空泵 + 100L卧式缓冲罐 + 力夫数字式压力开关 + 普岩电控箱

普岩机械技术团队深入客户现场,根据两个生产区域的用气特点,为客户定制了两套同配置的旋片真空机组,每套包含以下核心部件:

  • 核心真空源:普岩PV100旋片式真空泵。该泵极限真空度可达0.5mbar以下,抽速为100m³/h,采用高精度旋片和强制油润滑设计,运行平稳、噪音低,适合靶材制造车间长时间连续运行的需求。
  • 缓冲系统:100L卧式缓冲罐。有效平抑系统真空度波动,确保各用气点压力稳定。罐体碳钢制造,标配排污阀和真空表接口,结构紧凑,节省安装空间。
  • 控制与监测:力夫数字式压力开关 + 普岩电控箱。力夫数显压力开关实时显示系统真空度,支持上下限压力设定,实现自动启停控制。普岩电控箱集成过载、缺相保护功能,操作便捷,安全可靠。

两套机组出厂前均已完成程序测试与气密性测试,现场仅需连接总管路与电源即可投入使用。

项目成效:双线供气稳定,生产连续无忧

两套旋片真空机组投运半年以来,客户生产车间反馈显著改善:

  1. 真空度稳定可靠:两套机组分别服务不同区域,互不干扰,各工位用气压力均满足工艺要求,未出现因真空不足导致的靶材品质问题。
  2. 智能自动运行:通过压力开关设定启停上下限,机组根据各区域实际用气量自动启停,避免空转耗能。
  3. 维护简便:PV100泵维护周期长,配合缓冲罐对杂质的拦截,设备部门维护负担大幅减轻。

客户设备负责人表示:“普岩这两套旋片真空机组用下来非常省心,安装简单、运行稳定,压力数显一目了然。以后新项目需要真空系统,我们会优先考虑普岩。”

为什么选择普岩机械的旋片真空机组?

普岩机械专注于真空泵及定制真空机组,核心优势在于按需定制(根据气量、真空度、介质等提供非标设计)、自有品牌品质可控以及快速响应(24小时内提供解决方案)。除半导体靶材制造外,该旋片真空机组也广泛适用于锂电池真空干燥、食品药品包装、电子元件吸附、医疗器械生产、船舶制造等行业。若您的工厂面临真空不足、系统不稳定或需要新装机组,欢迎联系普岩机械获取定制方案。

下一篇